Máy tạo ẩm siêu ẩm hoạt động dựa trên nguyên lý sử dụng sóng siêu âm để phân tách nước thành các hạt sương nano siêu nhỏ (1−5μm).
Máy phun sương áp lực cao sử dụng máy bơm công suất lớn để nén nước với áp suất cực cao (từ 70bar trở lên), sau đó phun qua các béc phun siêu nhỏ để tạo thành sương mù.